来源是荷兰阿斯麦尔公司的光刻机。
中芯国际14nm光刻机的来源是荷兰阿斯麦尔公司。准确点说并不是14纳米,而是28纳米光刻机,14纳米是中芯国际的量产芯片制程,而不是光刻机的精度。作为duv光刻机最高也就是28/22纳米精度。荷兰阿斯麦尔光刻机目前几乎处于全球垄断地位,市场占有率高于90%,中芯国际的光刻机也是荷兰阿斯麦尔公司的。
2023年量产。
6月22日,中国电子信息产业发展研究所所长温晓军在接受采访时表示,国产14nm芯片明年年底可以的实现量产,国产芯片已经迎来了最好的时刻。
14nm生产线在半导体行业中非常关键,数据显示,14nm及以上制程可以满足目前70%半导体制造工艺要求。值得一提的是,我国自研台式电脑CPU就是基于14nm工艺。而且,相关部门为中国半导体产业制定的发展目标是2025年实现70%芯片自给自足。
光刻机特点
严格地说并没有所谓的几纳米几纳米光刻机,这种说法一般来说只是代表这种光刻机可以实现几纳米工艺。其实中高端光刻机主要分2种,DUV光刻机和EUV光刻机。
那么光源作为光刻机的核心部件之一,随着人类科技的不断进步,其波长也在不断缩小。从436nm、365nm的近紫外光,到248nm、193nm的深紫外光,也就是DUV光刻机使用的光源,发展到现在,最先进的EUV光刻机采用的已经是13.5nm极紫外光。
使用90nm国产光刻机。
光刻机又称掩模对准曝光机,是芯片加工过程中用于去除“晶圆表面涂抹的光刻胶”的一种重要设备。目前市场上的主流光刻机分为两大类,一是EUV光刻机、二是DUV光刻机,前者目前是最先进的光刻机,能制造5nm的高端芯片,也只有荷兰的ASML才掌握。
上海℡☎联系:电生产的光刻机,目前处于90nm水平。虽然较ASML仍有较大的差距,但纵观国内,比起国内其他半导体公司仍停留在200nm工艺,上海℡☎联系:电绝对是行业翘楚。
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